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名古屋市工業研究所

http://www.nmiri.city.nagoya.jp/

名古屋大学低温プラズマ科学研究センター

https://www.plasma.nagoya-u.ac.jp/

名古屋大学大学院工学研究科　電子情報システム専攻集積プロセス講座
ナノプロセスグループ　堀研究室

http://horilab.nuee.nagoya-u.ac.jp/index.php

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